オゾンランプの製造法として、放電法、電解法、紫外線(UV)法の三つの方式がありますが、放電法は最も効率がよく、電解法は高オゾン濃度が得られ、UV法は効率も濃度も低いが最も容易にオゾンを発生させる方法といえます。オゾンは220nm以下の放射で生成されるため、オゾンランプでは水銀の共鳴線(185nm)がおもに利用されます。また、同時に派生する長波長紫外線(UV)によってオゾンが分解されるため高濃度のオゾンを得ることはできません。用途によって短波長殺菌ランプ、低圧UV酸化用ランプ(紫外線(UV)放射によって生成された酸化剤・OHラジカルで有機物を分解する酸化反応用)などと呼ばれています。一般の殺菌ランプは200nm以下を透過しないオゾンレス石英管を使用していますが、オゾンランプでは普通石英管、さらに短波長域の透過しやすい合成石英管を使用して185nmを透過させています。脱臭に利用する低ワットタイプ(数ワット)は普通石英を、水処理、半導体の表面酸化洗浄、表面改質用の高ワット(数10~500W)ではさらに透過率の高い高価な合成石英管を使用しています。
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